双面研磨机
球墨铸铁研磨盘厂家告诉你,双面研磨机的工作原理是:行星车辆的外齿圈与中心轮的外齿圈和下研磨盘外径端的内齿圈啮合,并随中心轮旋转。硅片放置在行星车辆孔中,并随车辆旋转。上下研磨盘旋转,施加一定的研磨压力。行星车辆在上下研磨盘之间随行星轮旋转,并浇注由氧化铝和水制成的研磨浆。研磨阻力小,不损坏工件,两侧均匀研磨,生产效率高。有光栅厚度控制系统,加工后的产品厚度公差可控。双面研磨机的重要组成部分包括球墨铸铁研磨板、车辆和研磨浆机。球墨铸铁制造研磨板的主要原因是球墨铸铁中的球形石墨在研磨过程中可以润滑:
研磨盘是研磨机的关键部件,不仅要保证研磨盘的表面几何精度和保持性,还要有均匀的硬度分布(硬度为140-180HB),使用中易于修复等特点。研磨盘的研磨表面通常有沟槽。沟槽的作用是便于研磨浆液在研磨表面流动,研磨后便于取片。沟槽深度通常为10mm,宽度1-2mm,沟槽间距取决于设备制造商的经验。
根据研磨机的原理,双面研磨机必须有三种基本运动:上下研磨板之间的相对旋转、行星车辆旋转和绕中心轮旋转。设备结构中中中心轮的固定轴旋转是必要的,下研磨盘内齿圈固定轴旋转是可选的。